|
تفاصيل المنتج:
|
| Color: | Colorless to yellowish liquid | Specific weight: | 1.01-1.25 |
|---|---|---|---|
| PH: | 12.0-14.0 | قلوية مجانية (piont): | .5 13.5 مجم |
| تسليط الضوء: | منظفات شريحة السيليكون,التنظيف الكيميائي الصناعي |
||
محلول تنظيف بسكويت الويفر الصناعي مجموعة مزدوجة مركزة
لتنظيف رقائق السيليكون بشكل أكثر فعالية ، يوصي مصنعو السليكون بالقائمة التالية من خطوات التنظيف:
الخطوة الأولى: تنظيف المذيبات
تستخدم شركات تصنيع أشباه الموصلات المذيبات لإزالة الزيوت والمخلفات العضوية من سطح رقائق السليكون بنجاح. في حين أن المذيبات تزيل هذه الملوثات ، إلا أن المذيبات نفسها تترك بالفعل بقايا على سطح الرقائق أيضًا. لهذا السبب ، يتم تنفيذ طريقة ذات مذيبين لضمان إعادة الرقاقة إلى حالة خالية من الملوثات. طريقة تنظيف المذيب موضحة أدناه:
قم بإعداد حمامين ، وعاء زجاجي يحتوي على الأسيتون والآخر بالميثانول.
ضع حاوية الأسيتون على طبق ساخن لتسخين الأسيتون إلى درجة حرارة لا تزيد عن 55 درجة مئوية.
بمجرد تسخينها ، انقع رقاقة السيليكون في حمام الأسيتون لمدة 10 دقائق.
بعد اكتمال حمام الأسيتون ، قم بإزالة رقاقة السيليكون وضعها في حاوية الميثانول لمدة 5 دقائق.
بمجرد انتهاء الوقت ، قم بإزالة الرقاقة من الميثانول واشطفها في ماء DI.
جففي رقاقة السيليكون بالنيتروجين.
الخطوة الثانية: RCA-1 Clean
ثم يستخدم العاملون في صناعة تصنيع أشباه الموصلات تنظيف RCA لإزالة البقايا العضوية. يعمل RCA النظيف على أكسدة السيليكون ويوفر طبقة واقية رقيقة من أكسيد إلى سطح الرقاقة. فيما يلي طريقة التنظيف RCA-1:
ابدأ في تحضير حمام RCA عن طريق الجمع بين 5 أجزاء من ماء DI وجزء واحد من هيدروكسيد الأمونيوم (27 ٪).
ضع حاوية RCA على طبق ساخن لتسخين المحلول إلى درجة حرارة تقارب 70 درجة مئوية.
بمجرد الوصول إلى درجة الحرارة هذه ، قم بإزالة الحاوية من الطبق الساخن وأضف جزءًا واحدًا من بيروكسيد الهيدروجين (30٪). سيتبدل الحل بعد دقيقة أو دقيقتين.
بمجرد أن يبدأ المحلول في الفقاعة ، انقع رقاقة السيليكون لمدة 15 دقيقة تقريبًا.
عندما يحين الوقت ، قم بإزالة الرقاقة من حمام RCA وضعها في وعاء بالماء DI ، مع تغيير الماء عدة مرات لشطف المحلول تمامًا.
بعد هذه العملية ، قم بإزالة الرقاقة من الحاوية تحت الماء المتدفق للتأكد من عدم وجود بقايا من سطح الماء تلتصق بالرقاقة.
الخطوة الثالثة: تراجع حمض الهيدروفلوريك (HF)
ثم تقوم شركات تصنيع أشباه الموصلات بتنفيذ الخطوة النهائية ، وهي تراجع HF ، لإزالة ثاني أكسيد السيليكون من سطح رقاقة السيليكون. من المهم ملاحظة أن HF مادة كيميائية خطرة ، لذلك يوصي مصنعو السليكون بارتداء معدات واقية ، مثل القفازات الثقيلة وارتداء العين ، في جميع الأوقات خلال هذه الخطوة. تم توضيح عملية انخفاض التردد HF أدناه:
إنشاء حاوية غمس HF عن طريق الجمع بين 480 مل من الماء و 20 مل HF. استخدم دائمًا كوبًا من مادة البولي بروبيلين على عكس كوب زجاجي حيث يُعرف HF بالتفاعل بشكل خطير عند ملامسة أي مادة زجاجية.
بعد إنشاء المحلول ، انقع رقاقة السيليكون لمدة دقيقتين.
بمجرد انتهاء الوقت ، قم بإزالة الرقاقة واشطفها تحت ماء DI الجاري.
قم بإجراء اختبار قابلية التبلل عن طريق صب ماء DI على سطح الرقاقة. إذا تحول الماء إلى خرزات صغيرة ثم تدحرجت ، ستعرف أن السطح مسعور وخالٍ من الأكاسيد.
جففي رقاقة السيليكون بالنيتروجين.
سيساعد تنفيذ الخطوات المذكورة أعلاه الموصى بها من قبل الشركات المصنعة للسليكون تلك الشركات في صناعة تصنيع أشباه الموصلات للتغلب على تحديات التلوث لرقائق السيليكون.
معلمة تقنية حل رقاقة السيليكون
تصنيف مشروع | JH-1015-2 محلول تنظيف بسكويت الويفر | قواعد الامتحان |
| مظهر خارجي | عديم اللون إلى سائل مصفر | التصور |
| الوزن النوعي | 1.000 ± 0.050 | مقياس الكثافة |
| الرقم الهيدروجيني | 1.0-2.0 | أداة PH |
| القلوية الحرة (piont) | —— | CYFC |
مصنعنا
المصنع يغطي مساحة 26653 متر مربع ، وبناء ورشة عمل فئة ، ورشة عمل فئة C ، مستودع فئة C ، مستودع ومرافق مساعدة أخرى. إشراك أكثر من 100 نوع من الأنواع الكيميائية. الطاقة الإنتاجية 11000 طن / سنة.
أولاً ، ملف إنتاج الشركة
1. ورشة عمل فئة C
C ، 2 # ، 1 # ورشة عمل مع 3 # ، 7 # أربعة خطوط إنتاج ، باستخدام معدات الإنتاج المغلقة ، بما في ذلك 1 # ، 2 # ، 3 # خط إنتاج الأتمتة الخط ، وتعيين خط تعبئة سائل أوتوماتيكي بالكامل ، مواصفات التعبئة من 1L ~ 25L يمكن. يتم تنفيذ المكونات في منطقة مغلقة منفصلة. وفقًا لمتطلبات مجموعة متنوعة من المنتجات ، تم تجهيز غرفة التحكم المركزية لخط إنتاج الفئة C بجميع أنواع الأدوات وأجهزة الاستشعار لتشكيل مجموعة متعددة من أنظمة التحكم.
2. صف ورشة عمل
صنف ورشة عمل مع ثلاث خلاطات بعمود وآلة تشتت عالية السرعة ثلاث مجموعات من مجموعتين ، احترافية لتوفير جميع أنواع إنتاج الطلاء والطلاء.
3. مستودع C
مساحة بناء مستودع C أكثر من 3300 متر مربع ولها منطقة حريق ، يمكن استخدامها لتصنيف المواد الخام الكيميائية والمنتجات النهائية.
4. مستودع
اثنين من مساحة بناء المستودعات أكثر من 1400 متر مربع ولها منطقة حريق ، يمكن استخدامها لفئات B من المواد الخام الكيميائية والمنتجات الجاهزة المصنفة للتخزين.
5. المرافق الأخرى
يحتوي المصنع على مرافق معالجة مياه الصرف الصحي المهنية ، بطاقة معالجة 20T / d ، بعد معالجة مياه الصرف الصحي كمياه مستصلحة للإنتاج. تم تجهيز المصنع بأربع مجموعات من معدات معالجة غازات العادم ، وجميع مرافق معالجة غاز العادم بعد معايير التفريغ.
اتصل شخص: Mrs. June
الهاتف :: +86 13915018025
الفاكس: 86-519-85913023
